真空炉整体可大致分为六大组成部分为：炉体、加热室、充放气系统、水冷系统、控制（control)系统和真空系统。真空退火炉主要适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。
炉体主要包括炉壳和传送装置。炉壳钢板的选择主要是根据炉体承受的压强来决定的，压力越高就要选择相对较厚的钢板；传送装置可分为立式的丝杆传送和卧式的链条（chain)传送。
加热室包括保温屏、加热元件、水冷电极(electrode)、连接板、支架杆、紧压螺母、炉床、炉床支柱、导电杆、导电杆接头等。保温屏一般分为金属和石墨(化学式C )两大类。不充气的情况下石墨(化学式C )保温屏采用软毡的形式；充气的情况下保温屏要采用复合硬毡。金属类保温屏在低温的情况下选用不锈钢(不锈耐酸钢)材料，高温的时候要采用钼(molybdenum)等耐高温材料(非金属化合物)。加热室其他物品一般采用高强石墨(化学式C )，既要保障它耐高温、强度（strength)大又要保证材料价格便宜。

充放气系统主要包括：气瓶、充气管道、充气阀、放气阀等。碳化硅反应烧结炉主要用于反应烧结碳化硅、氮化硅结合碳化硅的真空烧结行业。被广泛应用于军工、卫生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、机械、汽车等领域。充气阀的主要作用是：开关气路，控制（control)气流大小，定量充气的作用。
水冷系统主要包括水流量(单位:立方米每秒)计和水压(特指:压强)表。其结构为冷壁式结构，即在双层炉壁之间要不间歇的循环（continue)通水来带走炉壁升温过程中产生的热量(Heat)，防止炉壁升温过高。在进水口每一路都要有水流量计，确保能观察到每路水循环的状态。
控制（control)系统一般主要包括：PLC、控温表、真空计配套规管、无纸记录仪、低压电器、工控机、模拟(定义:对真实事物或者过程的虚拟)板等。PLC的作用就是控制传输我们所需要的各个动作的指令，是总控制中心。控温表主要是在升温和保温过程中来调节温度（temperature)的大小，达到我们需要的温度。衡量一个真空炉最重要的一个标准就是真空度。真空规管就是测量真空度的传感器(transducer)，真空计是显示和控制部分。真空规管将测量到的真空度值以电信号传给真空计，真空计把电信号转换成相应的真空度数字值，并显示出来。有的真空计还可以输出自动控制信号。真空规管又可分为电离规管和电阻规管。电离规管能准确测量出1pa以下的真空度大小；电阻规管能准确测量出1pa以上的真空度大小。
真空系统主要包括：机械泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵、真空阀和电磁压差阀等。真空淬火炉适用于对大、中型真空产品零部件的固溶处理及时效处理。真空高压气体淬火炉是一种非常先进的真空热处理设备，其出色性能和独特的设计提供了广泛的适用高速钢、模具钢、不锈钢、合金钢、钛合金等合金材料高精密零件的真空光亮气淬、退火、磁性材料的烧结及快速冷却等特点。真空钎焊炉指工件加热在真空室内进行，主要用于要求质量高的产品和易氧化材料的焊接。真空钎焊炉包括具有圆筒形侧壁和门的压力容器，门的尺寸和位置设计成可封闭圆筒形侧壁的一端。工件处理系统安装在压力容器门上，用来支承金属工件进行热处理或钎焊。工件处理系统包括使工件在处理过程中转动的装置。真空系统可连接到工件，使工件内部的压力在钎焊过程中低于大气压。碳化硅反应烧结炉主要用于反应烧结碳化硅、氮化硅结合碳化硅的真空烧结行业。被广泛应用于军工、卫生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、机械、汽车等领域。机械泵分为旋片泵和滑阀泵为一级泵，可以单独使用。罗茨泵为二级泵，不可以单独使用，必须有前级泵。扩散泵和分子泵抽取的极限压强更小，可使所抽容器达到更高的真空度。泵抽速大小的选取一般根据所抽容积(volume)的大小和极限真空度。真空阀的主要作用是将真空炉内部与外界进行隔开或联通的装置，可以使泵停止工作期间真空炉内依然为真空状态。